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Brooks GC 系列超緊湊型質量流量控制器（MFC）
GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 熱式傳感技術的彈性密封超緊湊型氣體質量流量控制器，主打小體積 OEM、臺式實驗室設備，分為 GC50、GC51 兩個型號。
ji zhi緊湊體積：20?×?40?×?60?mm，大幅節省氣路面板空間，適合設備內部高密度集成Brooks Ins...。
MEMS 熱式傳感，量程比100:1，單臺覆蓋寬流量區間，減少器件數量Cross Comp...。
極低閥門泄漏率，多數工況無需額外切斷閥；彈性密封（橡膠密封圈），不適用半導體高純 / 腐蝕特氣，面向通用實驗室、生物設備。
通訊接口：模擬量（0?5V /0?10V /4?20mA） + Modbus?RTU RS?485，數字 + 模擬雙兼容Brooks Ins...。
現場在機校準：配套 BCAT 軟件，設備不用拆下來，可做校驗、調參、標定、故障診斷，降低停機維護時間Brooks Ins...。
表格
| 項目 | GC50 | GC51 |
|---|---|---|
| 滿量程（空氣當量） | 210?1500 sccm | 210?5000 sccm |
| 精度 | 1.5% 設定值 ±0.5% 滿量程 | 同 GC50 |
| 重復性 | ±0.25% 設定值 | ±0.25% 設定值 |
| 量程比（Turndown） | 100:1 | 100:1 |
| 工作壓力上限 | 150 psi（約 10.3?bar） | 150 psi |
| 工作溫度 | 0?50 ℃ | 0?50 ℃ |
| 接觸介質密封 | 彈性體密封（Viton） | 彈性體密封 |
| 氣路接頭 | 1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選 | 1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選 |
| 供電 | DC 24V | DC 24V |
空氣、N?、O?、Ar、CO?、N?O、CO、CH?、C?H?等非腐蝕性氣體。
臺式生物反應器、實驗室發酵系統
各類分析儀器、醫療氣體分析設備
空間受限 OEM 整機設備、桌面實驗平臺
注意：該系列為彈性密封，非金屬密封，不用于半導體高潔凈、腐蝕性特種氣體工藝。
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