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Brooks 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述:新一代超緊湊型質(zhì)量流量控制器,專為精密氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì),具備低泄漏率、寬調(diào)節(jié)比、先進(jìn)診斷功能及智能預(yù)測(cè)性維護(hù),可最大限度地提高設(shè)備運(yùn)行時(shí)和工藝可靠性。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GC
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2026-08-18
  • 訪  問  量:19
  • 產(chǎn)品資料:

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Brooks GC 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器


GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 熱式傳感技術(shù)的彈性密封超緊湊型氣體質(zhì)量流量控制器,主打小體積 OEM、臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,分為 GC50、GC51 兩個(gè)型號(hào)。

核心特點(diǎn)

  1. jizhi緊湊體積:20?×?40?×?60?mm,大幅節(jié)省氣路面板空間,適合設(shè)備內(nèi)部高密度集成Brooks Ins...。

  2. MEMS 熱式傳感,量程比100:1,單臺(tái)覆蓋寬流量區(qū)間,減少器件數(shù)量Cross Comp...。

  3. 極低閥門泄漏率,多數(shù)工況無需額外切斷閥;彈性密封(橡膠密封圈),不適用半導(dǎo)體高純 / 腐蝕特氣,面向通用實(shí)驗(yàn)室、生物設(shè)備。

  4. 通訊接口:模擬量(0?5V /0?10V /4?20mA) + Modbus?RTU RS?485,數(shù)字 + 模擬雙兼容Brooks Ins...。

  5. 現(xiàn)場(chǎng)在機(jī)校準(zhǔn):配套 BCAT 軟件,設(shè)備不用拆下來,可做校驗(yàn)、調(diào)參、標(biāo)定、故障診斷,降低停機(jī)維護(hù)時(shí)間Brooks Ins...。

主要技術(shù)規(guī)格Cross Comp...

表格

項(xiàng)目GC50GC51
滿量程(空氣當(dāng)量)210?1500 sccm210?5000 sccm
精度1.5% 設(shè)定值 ±0.5% 滿量程同 GC50
重復(fù)性±0.25% 設(shè)定值±0.25% 設(shè)定值
量程比(Turndown)100:1100:1
工作壓力上限150 psi(約 10.3?bar)150 psi
工作溫度0?50 ℃0?50 ℃
接觸介質(zhì)密封彈性體密封(Viton)彈性體密封
氣路接頭1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選
供電DC 24VDC 24V

兼容氣體

空氣、N?、O?、Ar、CO?、N?O、CO、CH?、C?H?等非腐蝕性氣體。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

  • 臺(tái)式生物反應(yīng)器、實(shí)驗(yàn)室發(fā)酵系統(tǒng)

  • 各類分析儀器、醫(yī)療氣體分析設(shè)備

  • 空間受限 OEM 整機(jī)設(shè)備、桌面實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

  • 注意:該系列為彈性密封,非金屬密封,不用于半導(dǎo)體高潔凈、腐蝕性特種氣體工藝

Brooks 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器

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